《
真空科学与技术学报》由中国真空
学会主办，是中国科学技术协会审定的国家级
自然科学技术刊物，月刊，国内外公开发行。本刊论文被CA、SA和INSPEC等国际著名检索系统收录。
《真空科学与技术学报》刊载的论文的内容主要涉及如下学科：真空科学与技术、薄膜物理与工艺、表面及界面物理、应用表面科学、物理电子学、电子材料与处理、纳米科学与技术、电真空技术、核真空技术及真空冶金等。本刊欢迎上述学科领域内的科研论文、研究报告、工艺研究、动态综述、工业技术等稿件，对于开创性的发明、发现等新成果，将优先发表。
（一）稿件要求
1．文稿务必立论明确，论证严谨，
数据可靠，文字精练。特约稿、综述论文一般8 000字以内，学术论文6 000字以内，技术交流4 000字以内，科技简讯2 000字以内，来稿请填好中图分类号。
2．投稿时需通过学报网站投稿系统进行注册，请按要求填写相关信息。
3．稿件请按本刊格式整理，除正文以外，要同时给出中、英文的篇名、作者姓名和工作单位、论文摘要300字左右、关键词4~6个，参见“关于在学术论文中规范关键词选择的决定”。摘要应反映文章的主要信息，包括目的、方法、结果和结论四要素。
4．凡汉语拼音、名词术语、物理量符号、单位符号、项目图形符号及文字代号等书写应贯彻相应的国家标准。外文字母的大小写、正斜体、黑白体、上下角标等要标识清楚，矢量和张量采用黑斜体。
5．文中图与表格应在相应位置给出，图、表应清晰，并给出中、英文对照的图题和表题。图的标目和图中说明文字一律用英文标注。如有照片，请用黑白照片，不用彩色照片。
6．文中使用他人成果，务必标明并在文后参考
文献中列出细目。本刊参考文献采用顺序编码制，书写格式按GB/T3179 - 92要求：
[期刊]序号著者（3人以内全部列出，超出3人，只标前3人，后加“等”或“et al.”）．刊名，出版年，卷号（期号）：页次
[书]序号著者（要求同期刊）．书名．版本（第一版略）．出版地：出版者，出版年：页次
[会议录，论文集] 序号著者（要求同期刊）．见(In)：整本文献的编者姓名ed.（多编者用eds.） 文集名，会议名，会址，开会年，出版地：出版者，出版年：页次
[专利文献]序号专利申请者．专利题名，分类号，专利国别，专利批准号，批准日期
（二）注意事项
1．作者应保证有合法的著作权。合作的论文，署名人数与顺序由作者自定，但需征得合作者同意。
2，来稿不得涉及国家机密，文责自负。
3．作者请自留底稿，稿件录用与否，均不退还。
4．请勿一稿多投。本刊严格执行初审、复审和终审制度，稿件收到后即向作者寄发收稿通知，三个月后作者可按稿件编号查询，六个月内，通知作者文稿是否录用或修改。
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