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溶胶—凝胶法制备P型氧化物薄膜晶体管的研究进展
摘 要:
目前,关于氧化物薄膜晶体管(TFT)的报道大部分是关于n型的。为进一步扩大集成电路的应用范围,需要制造稳定、高性能的P型氧化物TFT。传统的
真空
镀膜技术依赖于昂贵的设备、苛刻的真空
环境
等,不仅增加了生产成本,而且不利于大面积器件的制备。溶胶—凝胶法工艺成本低,操作简单,易实现大规模制备。文章重点阐述了溶胶—凝胶法和几种典型P型氧化物半导体材料,并介绍了其典型的应用领域。
作 者:
张加乐;袁星;王永康;曾思哲;邓申毅;窦威;
单 位:
湖南师范大学物理与电子科学学院
关键字:
薄膜晶体管;P型半导体材料;溶胶—凝胶法;
页 码:
14-16
出 处:
科技经济市场
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2022年01期
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