提高企业的全要素生产率是实现我国经济高质量发展目标的重要途径。基于此，本文以2015-2019年我国A股制造业上市公司为研究样本，采用面板数据处理技术，实证探讨企业内部控制各要素、研发投入和全要素生产率之间的关系。研究发现：企业内部控制在不同维度上对全要素生产率具有不同的影响，其中控制活动实施程度对企业全要素生产率产生负向影响，信息与沟通以及内部监督的有效程度对企业全要素生产率产生正向影响；研发投入在控制活动实施程度和信息与沟通对全要素生产率的影响中起到部分中介作用。