真空断路器与其他类型断路器相比占用面积小，具有利用高真空度灭弧的特点，可以较频繁地开断短路电流且重量较轻，在中压或者高压电力系统中具有明显的优势。目前对于真空断路器真空度的检测，有观察法、交流耐压法和电磁法等，且真空度带电检测可实施方法较少，可靠性和准确度需要进一步提高。首先对太赫兹光谱技术进行理论分析，然后仿真分析了太赫兹波在不同真空度下的光谱吸收与传输特性，最后利用ANL-127连续波太赫兹装置与真空断路器进行了验证。仿真分析与实验验证结果一致，表明太赫兹光谱技术可应用于检测真空断路器真空度。