SE激光选择性电极在制程中易对电池电极重掺区造成表面损伤，为防止后续工艺对其造成进一步的腐蚀，在硅表沉积一层氧化膜来达到保护效果。本文通过热氧与臭氧两种工艺制备氧化膜，并通过碱抛后损伤区的微观形貌以及电池电性能对比，得出热氧制氧化膜的致密性好，对损伤区可以起到较好的保护效果，保证了金属电极与硅基体低的串联电阻，电性能优越。