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基于管式PECVD设备石墨舟传送带粘链装置的设计及应用
摘 要:
光伏
太阳能
PECVD设备是通过石墨舟做为载体进行工艺的,目前存在从炉管工艺完后石墨舟内的碎片掉落到传送带上,将传送带烫坏的问题。如果用手工的方法进行粘结,维修时间过长,使用的周期很短。针对此问题,设计并应用了PECVD设备石墨舟传送带粘链装置,解决了石墨舟传送带断裂的问题,提高了传送带的使用寿命,缩短了维修时间,节约了生产成本。
作 者:
赵彩霞;张云鹏;张波;杨飞飞
单 位:
山西潞安太阳能科技有限责任公司
关键字:
石墨舟;传送带;粘链装置;
页 码:
140-141+144
出 处:
山西化工
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2021年02期
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