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TFT-LCD行业激光打码后面板强度改善
摘 要:
目的:TFT-LCD行业因Array曝光设备产能制约,需要用到QPanel激光打码。玻璃经过激光打码后,玻璃强度降低。为了提高玻璃强度,需要对激光打码工艺进行改善。方法:通过数据收集与DOE实验分析方法,找到了强度影响因子。通过改良工艺流程,实现激光打码后Panel强度提升;基于激光打码后强度提升的验证,有效解决了液晶玻璃在打码后的强度衰减问题。结果:结果显示,激光在低频率下,对玻璃损伤较小,通过实验与验证,脉冲频率为300KHz以下效果较好;通过微调激光打码速度,能有效提升玻璃强度,通过实验验证,打码速度设置500mm/s效果较好。结论:激光通过瞬时与Panel表面膜层发生一系列物理及化学反应,瞬间释放的能量能破坏玻璃的结构,需要降低作用于玻璃上的能量,以有效保护液晶玻璃,从而降低玻璃损伤。
作 者:
  • 伍飞高 王海荣 刘富青 胡亮亮 刘明辉 王忠山 张孝天
单 位:
    合肥鑫晟光电科技有限公司MDL技术部
关键字:
  • TFT-LCD;液晶玻璃;激光;打码工艺;强度改善;
页 码:
    234-238
出 处:
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