微机电系统技术从20世纪90年代引起各国普遍重视以来，经过几十年的发展，技术体系日趋完善，在物联网和人工智能等涉及生产生活的各个行业展现出重要的应用价值。国内很多高校都在理工科院系开设了微机电系统相关的课程。不同的学科开设微机电系统课程，其教学内容会根据专业的背景和特色，各有侧重和不同。本文总结多年来在北京航空航天大学仪器科学与技术相关本科专业开设微机电系统课程的教学经验，提出一些教学侧重方面的建议以及教学方法，供国内同行参考。