“着实”经历了从动宾短语到情状副词、再到语气副词的历时演变。“着”“实”连用最早出现于魏晋南北朝时期，南宋《朱子语类》中的大量使用为“着实”成词奠定基础，元明清时期可谓“着实”发生词汇化、语法化的重要阶段。“着实”在通俗化、口语化色彩浓重的元杂剧及明清小说中高频使用，由结构松散的动宾短语发展成为语义凝固、结构紧密的情状副词，又在隐喻机制、语用推理、主观化等因素的推动下，进一步虚化成为一个加强言者对客观事实肯定强度的语气副词。