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光学真空镀膜机的应用及发展
摘 要：
介绍光学镀膜机的结构以及镀膜工艺在部件选择和
真空
室配置等方面的决定性作用,针对Lens的膜系生产提出了镀膜工艺的改进方法,以达到提高生产精度、降低生产和维护成本、减少污染的目的。
作 者：
孙海新
单 位：
歌尔股份有限公司
关键字：
光学镀镆;离子源;射频源;真空泵;分子泵;
页 码：
88-89
出 处：
设备管理与维修
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2021年11期
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