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浅析微机电系统的发展与应用
摘 要:
微机电系统是将微电子技术和
机械
工程融合到了一起,开辟了一个全新的科学技术领域,而这个技术也对国家的科技
发展
和
国防
安全
等起到非常关键的作用.它可以满足人类社会实现低能和高效、以及保护
环境
的愿望,并且MEMS在现实生活中的一些潜在的应用,日后都将给一个国家的经济和安全带来巨大的影响.
作 者:
李霄霄
单 位:
广州工商学院
关键字:
微机电系统;发展;应用
页 码:
28-29
出 处:
中国科技纵横
-
2021年05期
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