三氯氢硅是多晶硅生产的一种基础原料，有效的控制三氯氢硅的质量，是提高多晶硅产品质量的关键。严格控制三氯氢硅的纯度，降低其中的杂质含量，就成为生产高品质半导体级和光伏级多晶硅产品的关键因素之一，本文分别从三氯氢硅的组份分析、硼磷及金属杂质分析、碳杂质含量分析等三个方面重点介绍了三氯氢硅质量检测方法。