在新的能源和资讯工业中,多晶硅是重要的原料.改进西门子工艺是目前最成熟、应用最广泛的一种工艺.目前,世界上大部分的多晶硅工厂都在使用改进的西门子方法来制造太阳、电子化多晶硅,这是一种能源消耗较高的技术.通过对三氯化硅精馏工艺和废气再循环蒸馏工艺的优选,得到了满足各个工艺条件下的最佳工艺条件.通过对目前的情况进行对比,可以明显减少能源消耗,节约设备投入和运行成本.