本研究采用溶胶-凝胶法制备了BiFeO3薄膜,选用不同的升温速率在500℃下加热30min获得结晶的BiFeO3薄膜,通过X射线衍射仪、扫描电镜及铁电综合测试仪分析薄膜的相成分、微观结构以及铁电极化性能;研究了加热速率对三者的影响,并分析了相成分和结构变化对BiFeO3薄膜铁电性能的影响。结果显示,高升温速率有利于薄膜结晶度的改善,从而提高了薄膜的铁电性能。