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碳化硅电热元件涂层的制备及性能分析
摘 要:
用传统反应烧结制备的碳化硅电热元件,其使用温度一般低于1350℃,重结晶碳化硅电热原件的最高使用温度达1500℃,而热端具有抗氧化涂层的硅碳棒使用温度可达1600℃。但是,重结晶工艺的烧结机制是蒸发凝聚,在烧结过程中没有收缩,孔隙率较高。结果是,国产重结晶碳化硅电热原件的密度一直低于2.5g/cm3,成品的气孔率高达25%。重结晶硅碳棒具有很多相互连通的气孔,在高温环境下氧气通过连通的气孔极易将其氧化。
作 者:
  • 张志楠
单 位:
    陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司
关键字:
  • 碳化硅电热元件;涂层;制备;性能 MoSi2-Si3N4
页 码:
    106-108
出 处:
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